1912年，屬吳縣。

1929年，今境分屬吳縣第九、第十三區(qū)。

1934年，屬吳縣第九區(qū)。

1947年，屬吳縣陽澄區(qū)。

1949年4月，仍屬吳縣陽澄區(qū)。

1950年3月，屬吳縣唯亭區(qū)。

1956年，分屬唯亭區(qū)、車坊區(qū)。

1957年3月，撤區(qū)并鄉(xiāng)，分屬吳縣唯亭、跨塘鄉(xiāng)。

1958年9月，改為唯亭、跨塘人民公社。

1961年4月，跨塘人民公社劃歸蘇州市郊。

1964年1月，跨塘人民公社劃出洋涇、板涇2大隊(duì)歸婁葑人民公社后，復(fù)歸吳縣。

1983年7月，政社分設(shè)，復(fù)設(shè)唯亭、跨塘鄉(xiāng)。

1985年9月，唯亭鄉(xiāng)改鎮(zhèn)。

1993年7月，跨塘鄉(xiāng)改鎮(zhèn)。

1994年5月，唯亭、跨塘等5鄉(xiāng)鎮(zhèn)劃歸蘇州市直接管轄，由蘇州工業(yè)園區(qū)管委會(huì)代管。

2000年12月，跨塘鎮(zhèn)倪浜、唐莊2村劃歸婁葑鎮(zhèn)。

2003年7月，跨塘鎮(zhèn)臨湖村劃歸婁葑鎮(zhèn)。

2005年5月，跨塘鎮(zhèn)并入唯亭鎮(zhèn)。

2012年12月26日，唯亭撤鎮(zhèn)設(shè)立街道。